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氣態(tài)氯硅烷組分分析是采用填充柱進(jìn)行高效分析的色譜方法。為了充分利用填充柱的高效分離特性,需采用與之配套的進(jìn)樣和檢測(cè)系統(tǒng)。普瑞GC-9280型氣相色譜儀采用六通閥進(jìn)樣,并裝有液體進(jìn)樣氣化室,兼分析液態(tài)氯硅烷。
1.氣態(tài)氯硅烷組分分析的方法原理 氣態(tài)氯硅烷組分分析是采用填充柱進(jìn)行高效分析的色譜方法。為了充分利用填充柱的高效分離特性,需采用與之配套的進(jìn)樣和檢測(cè)系統(tǒng)。本方法采用六通閥進(jìn)樣,并裝有液體進(jìn)樣氣化室,兼分析液態(tài)氯硅烷。
2.適用范圍 適用于氣態(tài)氯硅烷組分分析
3.分析依據(jù)的標(biāo)準(zhǔn) YS/T 1060-2015 硅外延用三氯氫硅中其他氯硅烷含量的測(cè)定 氣相色譜法
4.氣態(tài)氯硅烷組分分析氣相色譜描述
4.1. 用途 氣態(tài)氯硅烷組分分析,如二氯二氫硅、三氯氫硅、四氯化硅。
4.2. 儀器型號(hào) 北京普瑞儀器有限公司GC-9280型氣相色譜儀
4.3. 系統(tǒng)配置描述 本方案配置了雙閥進(jìn)樣口,雙液體進(jìn)樣口,兩閥四柱,2 個(gè) TCD 檢測(cè)器等組成。
5. 技術(shù)參數(shù)
電源 | AC220V±10% 50Hz 2200W | |
工作環(huán)境 | 環(huán)境溫度:5~35℃,相對(duì)濕度:≤85%,室內(nèi)無(wú)腐蝕性氣體,工作臺(tái)平穩(wěn)無(wú)振動(dòng),周圍無(wú)強(qiáng)磁場(chǎng)存在 | |
相關(guān)配件 | 檢測(cè)器(根據(jù)用戶需求搭配) | 氫火焰離子化檢測(cè)器(FID) 熱導(dǎo)池檢測(cè)器(TCD) 電子捕獲檢測(cè)器(ECD) 火焰光度檢測(cè)器(FPD) 氮磷檢測(cè)器(NPD) |
自動(dòng)進(jìn)樣器(選配) | 島津AOC-20i HTA公司的HT系列高效氣相液體自動(dòng)進(jìn)樣器 | |
柱溫箱 | 爐膛尺寸 | 280×300×180mm |
溫度范圍 | 室溫+5~400℃ | |
溫度設(shè)定 | 1˚C;程序設(shè)定升溫速率0.1˚C | |
色譜柱溫度穩(wěn)定性 | 當(dāng)環(huán)境溫度變化1˚C時(shí),為0.01˚C | |
程升階數(shù) | 16階 | |
程升速率 | 0.1℃-40℃/min(增量0.1℃) | |
氫火焰離子化 檢測(cè)器(FID) | 大操控溫度 | 400℃ |
檢測(cè)限 | ≤5×10-12g/s [n-C16] | |
漂移 | ≤5×10-13A/30min | |
噪音 | ≤2×10-13A | |
動(dòng)態(tài)線性范圍 | ≥107 | |
熱導(dǎo)池檢測(cè)器 (TCD) | 大操控溫度 | 400℃ |
靈敏度 | ≥6000mv.ml/mg [苯/甲苯] | |
漂移 | ≤100uV/30mi | |
噪音 | ≤20uV | |
動(dòng)態(tài)線性范圍 | ≥104 | |
電子捕獲檢測(cè)器 (ECD) | 大操控溫 | 350℃ |
檢測(cè)限 | ≤1×10-14g/ml (γ-666) | |
漂移 | ≤50uV/30min | |
噪音 | ≤20uV | |
動(dòng)態(tài)線性范圍 | ≥104 | |
火焰光度檢測(cè)器 (FPD) | 大操控溫度 | 250℃ |
檢測(cè)限 | ≤2×10-13g/s(P) ≤5×10-11g/s(S) | |
漂移 | ≤4×10-11A/30min | |
噪音 | ≤2×10-12A | |
動(dòng)態(tài)線性范圍 | ≥103(P) ≥102(S) | |
氮磷檢測(cè)器(NPD) | 大操控溫度 | 400℃ |
檢測(cè)限 | ≤5×10-13g/s(P) ≤1×10-12g/s(N) | |
漂移 | ≤25×10-12A/30min | |
噪音 | ≤4×10-13A | |
動(dòng)態(tài)線性范圍 | ≥103(P) ≥103(N) |
更新時(shí)間:2024/8/15 9:26:01
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