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GC-9280型氦離子氣相色譜儀分析高純四氟化碳適用電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測,小檢測濃度可達5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器,采用中心切割技術(shù),進樣閥均帶有吹掃保護氣路;整機采用多柱箱設(shè)計,并配備進樣壓力自動校正系統(tǒng)。
檢測項目:
項目 | 指 標 | ||
四氟化碳(CF4)純度(體積分數(shù))/10-2 ≥ | 99.999 | 99.995 | 99.99 |
氮(N2)含量(體積分數(shù))/10-6 < | 4 | 20 | 40 |
氧+氬(O2+Ar)含量(體積分數(shù))/10-6 < | 1 | 5 | 10 |
二氧化碳(CO2)含量(體積分數(shù))/10-6 < | 1 | 5 | 10 |
一氧化碳(CO)含量(體積分數(shù))/10-6 < | 0.1 | 0.5 | 1 |
六氟化硫(SF6)含量(體積分數(shù))/10-6 < | 1 | 1 | 5 |
水分(H2O)含量(體積分數(shù))/含量,10-6 < | 3 | 5 | 10 |
酸度(以HF計)含量含量(體積分數(shù))/10-6 < | 0.1 | 0.3 | 0.3 |
其它鹵碳化合物a含量(體積分數(shù))/10-6 < | 1 | 10 | 30 |
總雜質(zhì)含量(體積分數(shù))/l0-6 ≤ | 10 | 50 | 10 |
顆粒 | 供需雙方商定 | 供需雙方商定 | 供需雙方商定 |
其它鹵碳化合物包括:六氟乙烷、八氟丙烷等。 |
產(chǎn)品的特點:
◆ 氣體行業(yè)專業(yè)色譜技術(shù)成套解決方案
◆ 采用VICI公司Valco帶吹掃型十通與六通切換閥控制氣路
◆ 應用氣體分離專用色譜柱分離預切再分離技術(shù)
◆ 采用可分離與嵌入式單體控溫柱爐
◆ 工藝流程采用多路精密零死體專用閥控制多維色譜分離柱流量
◆ 分析流程全部采用Valco公司316不銹鋼管路與專用鍍金接頭
◆ 核心靈敏部件采用Valco公司PDHID脈沖氦離子檢測器
◆ 成套專業(yè)化的數(shù)字與全中文反控氣相色譜儀
中心切割與反吹系統(tǒng):
GC-9280PDD氦離子化氣相色譜儀采用多閥多柱的中心切割與反吹系統(tǒng),該系統(tǒng)由多個吹掃型十通閥及多根色譜聯(lián)合組成,通過工作站設(shè)置的時間程序自動控制其進樣、切換、切割與反吹等過程,完成包括高純氮、高純氫、高純氧、高純氦、高純二氧化碳、高純氬、氪氣、氙氣、氖氣等高純氣體以及硅烷等電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測:
VALCO吹掃型十通閥:
GC-9280PDD氦離子化氣相色譜儀所配備的均為VALCO生產(chǎn)的
經(jīng)特殊加工的色譜柱技術(shù)
氣體全分析流程:
HP-2氦氣純化器:
可純化氣體:He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn
操作壓力:1000Psi
去除氣體:H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3、CF4等
殘留濃度:≤10ppb
PDHID對部分雜質(zhì)的檢測限(ppb)
雜質(zhì)種類
雜質(zhì)種類 | H2 | O2 | N2 | CO | CH4 | CO2 | C2H4 | C2H6 | C2H2 | N2O | 苯 |
檢測限 | 5 | 10 | 10 | 25 | 5 | 5 | 10 | 10 | 10 | 5 | 1 |
更新時間:2024/8/12 8:46:22