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產(chǎn)品展示

氦離子氣相色譜儀分析高純四氟化碳

氦離子氣相色譜儀分析高純四氟化碳

價格: 型號:GC -9280

原產(chǎn)地:中國大陸發(fā)布時間:2024/6/17 17:25:23

GC-9280型氦離子氣相色譜儀分析高純四氟化碳適用電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測,小檢測濃度可達5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器,采用中心切割技術(shù),進樣閥均帶有吹掃保護氣路;整機采用多柱箱設(shè)計,并配備進樣壓力自動校正系統(tǒng)。

采購度:155

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氦離子氣相色譜儀分析高純四氟化碳

GC-9280氦離子氣相色譜儀分析高純四氟化碳適用電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測,小檢測濃度可達5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器,采用中心切割技術(shù),進樣閥均帶有吹掃保護氣路;整機采用多柱箱設(shè)計,并配備進樣壓力自動校正系統(tǒng)。

檢測項目:

項目

       

四氟化碳(CF4)純度(體積分數(shù))/10-2    

99.999

99.995

99.99

氮(N2)含量(體積分數(shù))/10-6           

4

20

40

+氬(O2+Ar)含量(體積分數(shù))/10-6      

1

5

10

二氧化碳(CO2)含量(體積分數(shù))/10-6    

1

5

10

一氧化碳(CO)含量(體積分數(shù))/10-6     

0.1

0.5

1

六氟化硫(SF6)含量(體積分數(shù))/10-6    

1

1

5

水分(H2O)含量(體積分數(shù))/含量,10-6  

3

5

10

酸度(以HF計)含量含量(體積分數(shù))/10-6  

0.1

0.3

0.3

其它鹵碳化合物a含量(體積分數(shù))/10-6    

1

10

30

總雜質(zhì)含量(體積分數(shù))/l0-6                          

10

50

10

顆粒

供需雙方商定

供需雙方商定

供需雙方商定

其它鹵碳化合物包括:六氟乙烷、八氟丙烷等。


產(chǎn)品的特點:
◆ 氣體行業(yè)專業(yè)色譜技術(shù)成套解決方案
◆ 采用VICI公司Valco帶吹掃型十通與六通切換閥控制氣路
◆ 應用氣體分離專用色譜柱分離預切再分離技術(shù)
◆ 采用可分離與嵌入式單體控溫柱爐
◆ 工藝流程采用多路精密零死體專用閥控制多維色譜分離柱流量
◆ 分析流程全部采用Valco公司316不銹鋼管路與專用鍍金接頭
◆ 核心靈敏部件采用Valco公司PDHID脈沖氦離子檢測器
◆ 成套專業(yè)化的數(shù)字與全中文反控氣相色譜儀

中心切割與反吹系統(tǒng):
GC-9280PDD氦離子化氣相色譜儀采用多閥多柱的中心切割與反吹系統(tǒng),該系統(tǒng)由多個吹掃型十通閥及多根色譜聯(lián)合組成,通過工作站設(shè)置的時間程序自動控制其進樣、切換、切割與反吹等過程,完成包括高純氮、高純氫、高純氧、高純氦、高純二氧化碳、高純氬、氪氣、氙氣、氖氣等高純氣體以及硅烷等電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測:
VALCO吹掃型十通閥:
GC-9280PDD氦離子化氣相色譜儀所配備的均為VALCO生產(chǎn)的
經(jīng)特殊加工的色譜柱技術(shù)
氣體全分析流程:

HP-2氦氣純化器:
可純化氣體:He、Ar、Ne、KrXe、Rn
操作壓力:1000Psi
去除氣體:H2O2、N2、CO、CO2CH4、H2ONO、NH3、CF4
殘留濃度:≤10ppb

PDHID對部分雜質(zhì)的檢測限(ppb

雜質(zhì)種類

雜質(zhì)種類

H2

O2

N2

CO

CH4

CO2

C2H4

C2H6

C2H2

N2O

檢測限

 5

 10

 10

25

5

 5

 10

 10

 10

 5

1



更新時間:2024/8/12 8:46:22

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