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警告:揮發(fā)性有機物屬易燃物質(zhì),其中部分屬有毒物質(zhì),配制標(biāo)準(zhǔn)樣品和保存應(yīng)注意安全。在有可能發(fā)生爆炸的環(huán)境采樣時,要特別注意采樣儀器和操作的安全性。
1 適用范圍
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了固定污染源廢氣中 24 種揮發(fā)性有機物測定的固相吸附-熱脫附/氣相色譜-質(zhì)譜法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于固定污染源廢氣中24種揮發(fā)性有機物的測定,24種揮發(fā)性有機物包括:丙酮、異丙醇、正己烷、乙酸乙酯、苯、六甲基二硅氧烷、3-戊酮、正庚烷、甲苯、環(huán)戊酮、乳酸乙酯、乙酸丁酯、丙二醇單甲醚乙酸酯、乙苯、對/間二甲苯、2-庚酮、苯乙烯、鄰二甲苯、苯甲醚、苯甲醛、1-癸烯、2-壬酮、1-十二烯。其他揮發(fā)性有機物經(jīng)過驗證后也可使用本方法。當(dāng)采樣體積為300 ml 時,本標(biāo)準(zhǔn)的方法檢出限為0.001~0.01 mg/m3,測定下限為0.004~0.04mg/m3。詳見附錄A。
2 規(guī)范性引用文件
本標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容引用了下列文件中的條款。凡是不注明日期的引用文件,其有效版本適用
于本標(biāo)準(zhǔn)。
HJ 639 水質(zhì) 揮發(fā)性有機物的測定 吹掃捕集/氣相色譜-質(zhì)譜法
HJ 732 固定污染源廢氣 揮發(fā)性有機物的采樣 氣袋法
HJ/T 397 固定源廢氣監(jiān)測技術(shù)規(guī)范
3 術(shù)語和定義
下列術(shù)語和定義適用于本標(biāo)準(zhǔn)。
3.1采樣穿透 sampling penetration
串聯(lián)兩支吸附管采樣,若后邊一支吸附管的分析結(jié)果超過前、后兩支和的 10%,則認(rèn)為已經(jīng)發(fā)生采樣穿透。
3.2穿透體積 penetration volume
當(dāng)恒定濃度的分析物質(zhì)穿過吸附劑時,在吸附劑的后端能檢出分析物質(zhì)濃度的 5%時進(jìn)入吸附劑空氣的總體積。
3.3安全采樣體積 safe sampling volume
2/3 的穿透體積定義為安全采樣體積。
4 方法原理
使用填充了合適吸附劑的吸附管直接采集固定污染源廢氣中揮發(fā)性有機物(或先用氣袋采集然后再將氣袋中的氣體采集到固體吸附管中),將吸附管置于熱脫附儀中進(jìn)行二級熱脫附,脫附氣體經(jīng)氣相色譜分離后用質(zhì)譜檢測,根據(jù)保留時間、質(zhì)譜圖或特征離子定性,內(nèi)標(biāo)法或外標(biāo)法定量。
5 試劑和材料
除非另有說明,分析時均使用符合國家標(biāo)準(zhǔn)的分析純化學(xué)試劑。
用于 GC-MS 性能檢驗。取適量色譜純的 4-溴氟苯(BFB)配制于一定體積的甲醇(5.1)中。
5.4 標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)
揮發(fā)性有機物的標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)可以使用氣體標(biāo)準(zhǔn),也可以使用液體標(biāo)準(zhǔn)。
5.4.1 氣體標(biāo)準(zhǔn)使用高壓罐儲存的氣體標(biāo)準(zhǔn),必須符合國家標(biāo)準(zhǔn)或權(quán)威機構(gòu)認(rèn)證的標(biāo)準(zhǔn)且在有效期內(nèi)使用。標(biāo)準(zhǔn)氣體的稀釋建議使用動態(tài)稀釋方法。
5.4.2 液體標(biāo)準(zhǔn)貯備溶液: r =1000 μg/ml。
購買色譜純的目標(biāo)化合物,取一定體積用甲醇(5.1)稀釋,配制成 1000 μg/ml 的標(biāo)準(zhǔn)貯備液。也可購買市售有證混合標(biāo)準(zhǔn)溶液,濃度為 2000 μg/ml。
替代物標(biāo)準(zhǔn)溶液: r =2000 μg/ml 或 2500 μg/ml,市售有證替代物標(biāo)準(zhǔn)溶液(揮發(fā)性有機物分析專用)。也可選擇目標(biāo)化合物中色譜純氘代物用甲醇(5.1)配制。
吸附劑:Tenax GR(比表面積 35 m2/g),Carbopack B(比表面積 100 m2/g),Carbopack C(比表面積 10 m2/g),Carboxen 1000(比表面積 1200 m2/g),或其他等效吸附劑如國產(chǎn)GDX-502(比表面積 170 m2/g)、GDX-201(比表面積 510 m2/g)、GDX-101(比表面積 330 m2/g)等。常用的吸附劑的粒徑一般為 60~80 目。
吸附管:不銹鋼材質(zhì),內(nèi)徑 5 mm。
組合 1 吸附管,內(nèi)裝 Tenax GR、Carbopack B,長度分別為 30、25 mm。
組合 2 吸附管,內(nèi)裝 Carbopack B、Carboxen 1000,長度分別為 30、10 mm。
組合 3 吸附管,內(nèi)裝 Carbopack C、Carbopack B、Carboxen 1000,長度分別為 13、25、13 mm。或使用其他具有相同功能的產(chǎn)品。吸附管的使用與選擇參見附錄 C。
氦氣:純度≥99.999%。
載氣氣路中應(yīng)安裝氧氣和有機物過濾器。這些濾料應(yīng)根據(jù)廠商說明定期更換。
氮氣:純度≥99.999%。
6 儀器和設(shè)備
毛細(xì)管氣相色譜儀:具有分流/不分流進(jìn)樣口,能對載氣進(jìn)行電子壓力控制,可程序升溫。
質(zhì)譜儀:電子轟擊(EI)電離源,一秒內(nèi)能從 35 amu 掃描至 270 amu,具 NIST 質(zhì)譜圖庫、手動/自動調(diào)諧、數(shù)據(jù)采集、定量分析及譜庫檢索等功能。
色譜柱:可以根據(jù)需要選擇內(nèi)徑 0.18 mm、0.25 mm、0.32 mm,1.0 μm 膜厚,20~60 m長的 100%甲基聚硅氧烷毛細(xì)柱(色譜柱-1)或等效柱。
6.4 熱脫附裝置:能對吸附采樣管進(jìn)行二級熱脫附,并將脫附氣用載氣帶入氣相色譜,脫附溫度、脫附時間及流速可調(diào),冷阱能實現(xiàn)快速升溫。冷阱一般采用半導(dǎo)體制冷。熱脫附裝置與氣相色譜相連部分和儀器內(nèi)氣體管路均應(yīng)使用硅烷化不銹鋼管,并至少能在 50-150 ℃之間均勻加熱。
吸附管老化裝置:溫度應(yīng)達(dá)到 400 ℃以上,載氣流量至少能達(dá)到 100 ml/min,流量可調(diào)。無油采樣泵:采樣流量應(yīng)能達(dá)到 20~200 ml/min,采樣泵采用具有恒定質(zhì)量流量控制的采樣泵。
校準(zhǔn)流量計:能在 5~500 ml/min 能精確測定流量,流量精度 2%;宜采用電子質(zhì)量流量計。半導(dǎo)體制冷除濕裝置或冰浴小型撞擊式水分收集器:半導(dǎo)體致冷器(電流為 3 A,電壓為 12 V,溫差 60 ℃),除濕器中氣路部分的材質(zhì),采用不銹鋼及聚四氟乙烯導(dǎo)管,除濕部件設(shè)計成可更換的組件;當(dāng)樣氣流量<3 L/min 時入口樣氣溫度<60 ℃(雙路串聯(lián)時<120 ℃),出口樣氣溫度 1.5~4.0 ℃。
微量注射器:1.0、5.0、10.0、25.0、50.0、100、250 和 500 μl。
一般實驗室常用儀器和設(shè)備。
7 樣品
7.1 預(yù)調(diào)查和預(yù)監(jiān)測
在測試固定源揮發(fā)性有機物排氣前,應(yīng)事先調(diào)查污染源信息,包括公司名稱、原材料、中間體、產(chǎn)品、副產(chǎn)品、生產(chǎn)工藝、排氣筒采樣孔位置、總有機碳(或非甲烷總烴)排放濃度等情況,及行業(yè)排放標(biāo)準(zhǔn)所列的常見有機污染物。預(yù)監(jiān)測樣品采集使用組合 3 吸附管采樣,熱脫附/氣相色譜-質(zhì)譜法分析,也可采用采樣罐采樣氣相色譜-質(zhì)譜法分析。預(yù)監(jiān)測確定各固定污染源廢氣中揮發(fā)性有機物的組分。
7.2 吸附采樣管的準(zhǔn)備
老化后的吸附采樣管兩端立即用密封帽密封,放在氣密性的密封袋或密封盒中保存。密封袋或密封盒存放于裝有活性炭的盒子或干燥器中,4℃保存。必要時,采樣前在老化好的吸附管中加入一定量(一般為校準(zhǔn)曲線中間濃度)的替代物標(biāo)準(zhǔn),加載方法參見 8.2.2。
7.3 樣品采集
7.3.1 吸附管采樣
按照 HJ/T 397 中使用吸附管采樣系統(tǒng)(如圖 1)采樣要求,進(jìn)行樣品采集。
對于使用多層吸附劑的吸附采樣管,吸附采樣管氣體入口端應(yīng)為弱吸附劑(比表面積小),出口端為強吸附劑(比表面積大)。對于外徑為 6 mm 的不銹鋼吸附采樣管,推薦的采樣流量為 20~50 ml/min。每個樣品至少采氣 300 ml,組合 1 吸附采樣管如果監(jiān)測 C6 以上揮發(fā)性有機物則樣品采氣量可達(dá) 2 L。廢氣溫度較高,含濕量大于 2%,目標(biāo)化合物的安全采樣體積不能滿足樣品采氣 300 ml,影響吸附采樣管的吸附效率時,應(yīng)將吸附采樣管冷卻(0-5 ℃)采樣。采樣穿透試驗樣品采集:在吸附采樣管后串聯(lián)一根吸附采樣管,同時采樣。每批樣品應(yīng)至少采集一根串聯(lián)吸附采樣管,用于監(jiān)視采樣是否穿透。
注 1:組合 2、3 吸附采樣管的主要干擾物是水蒸氣。如果存在水蒸氣干擾,可在吸附采樣管前加一個
冰水浴小型撞擊式水分收集器或半導(dǎo)體制冷除濕裝置。水分收集器中的水應(yīng)同時用 HJ639 分析,含量計入到樣品中。
式中: ri ——氣體中 VOCs 目標(biāo)化合物的濃度,mg/m3;
mi——樣品中第 i 中目標(biāo)化合物的含量,ng;
Vnd——標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下(0℃,101.325 kPa)干采氣體積,ml。
9.2 使用內(nèi)標(biāo)物進(jìn)行定量時相對響應(yīng)因子(RRFi)和平均相對響應(yīng)因子( RRF )的計算目標(biāo)化合物 i 的相對響應(yīng)因子 RRFi 的計算。
RRFi = Ai ´ mis/
Ais ´ mi
式中: Ai——目標(biāo)化合物 i 的峰面積
mi——目標(biāo)化合物 i 的含量,ng
Ais——內(nèi)標(biāo)化合物的峰面積
mis——內(nèi)標(biāo)化合物的含量,ng目標(biāo)物的平均相對響應(yīng)因子 RRF 的計算。
式中: n——校準(zhǔn)系列點數(shù)。
9.3 用平均相對相應(yīng)因子計算
式中: mi——樣品中第 i 中分析物質(zhì)的含量,ng
Ai——目標(biāo)化合物的峰面積
Ais——內(nèi)標(biāo)化合物的峰面積
mis——內(nèi)標(biāo)化合物的濃度,ng
9.4 結(jié)果表示
列出所有目標(biāo)化合物的濃度。當(dāng)目標(biāo)化合物的濃度小于 1 mg/m3 時,分析結(jié)果保留至小
數(shù)點后 3 位(丙酮保留至小數(shù)點后 2 位),當(dāng)目標(biāo)化合物的濃度大于等于 1 mg/m3 時,保留 3位有效數(shù)字。
10 精密度和準(zhǔn)確度
10.1 精密度
5 家實驗室對空白加標(biāo) 5.00ng、50.0ng、100ng 的統(tǒng)一樣品進(jìn)行了測定:
實驗室內(nèi)相對標(biāo)準(zhǔn)偏差分別為 0~30.1%,0.7%~20.0%,0.9%~20.8%;
實驗室間相對標(biāo)準(zhǔn)偏差分別為 2.6%~36.1%,2.3%~11.9%,0.8%~13.0%
重復(fù)性限分別為 0.16~4.30ng,4.08~11.0ng,4.43~18.8ng;
再現(xiàn)性限分別為 0.64~6.35ng,6.83~26.0ng,8.43~38.1ng。
詳見附錄 B。
10.2 準(zhǔn)確度
5 家實驗室對加標(biāo) 50ng 和 100ng 的統(tǒng)一樣品進(jìn)行了加標(biāo)分析測定,加標(biāo)回收率分別為102%~122%和 96%~108%;
加標(biāo)回收率*終值分別為(102%±9%)~(122%±22%)和(96%±5%)~(108%±19%)。詳見附錄 B。
11 質(zhì)量保證和質(zhì)量控制
11.1 實驗室空白
對于 Tenax 多孔聚合物吸附劑,單個化合物的實驗室空白水平不應(yīng)大于 7 ng。新買的
或自行填充的吸附采樣管需進(jìn)行空白水平測試和吸附解吸效率評價。
全程序空白
每批樣品應(yīng)至少做一個全程序空白樣品,全程序空白樣品中目標(biāo)化合物的含量過大可疑時,應(yīng)對本批數(shù)據(jù)進(jìn)行核實和檢查。
11.3 替代物采樣
必要時每個樣品均加入替代物采樣。替代物采樣的回收率應(yīng)在 91.5%-128%。
空白加標(biāo)
每批樣品至少做一個空白加標(biāo),回收率符合準(zhǔn)確度控制要求。
校核樣品分析
每批樣品應(yīng)帶一個校核點,其相對誤差在 30 %以內(nèi)。若超出允許范圍,應(yīng)重新配制中間濃度點標(biāo)準(zhǔn)溶液,若還不能滿足要求,應(yīng)重新繪制校準(zhǔn)曲線。
11.6 吸附采樣管的穿透試驗
串連二支吸附采樣管采樣,如果在后一支吸附采樣管中檢出目標(biāo)化合物的量大于總量的 10%,則認(rèn)為吸附采樣管發(fā)生穿透,本次采集樣品無效。應(yīng)重新采樣,并確保目標(biāo)化合物的采氣量小于吸附采樣管安全采樣體積。
11.7 采樣器流量校準(zhǔn)
采樣前后流量變化大于 5%,但不大于 10%,應(yīng)進(jìn)行修正;流量變化大于 10%,應(yīng)重新采樣。
附 錄 A
(規(guī)范性附錄)
目標(biāo)物的檢出限和測定下限
當(dāng)采樣體積為300 ml 時,23 種目標(biāo)物全掃描方式的方法檢測限和測定下限見附表A.1。
附表 A.1 目標(biāo)物的檢出限和測定下限
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| 檢出限 | 測定下限 | 檢出限 | 測定下限 |
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序號 | 目標(biāo)物 | 定量離子 |
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ng | ng | mg/m3 | mg/m3 |
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1 | 丙酮 | 58 | 3.13 | 12.5 | 0.01 | 0.04 |
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2 | 異丙醇 | 45 | 0.64 | 2.55 | 0.002 | 0.008 |
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3 | 正己烷 | 57 | 1.06 | 4.24 | 0.004 | 0.016 |
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4 | 乙酸乙酯 | 43 | 1.80 | 7.22 | 0.006 | 0.024 |
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5 | 苯 | 78 | 1.16 | 4.63 | 0.004 | 0.016 |
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6 | 六甲基二硅氧烷 | 147 | 0.42 | 1.69 | 0.001 | 0.004 |
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7 | 3-戊酮 | 57 | 0.64 | 2.54 | 0.002 | 0.008 |
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8 | 正庚烷 | 43 | 1.20 | 4.78 | 0.004 | 0.016 |
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9 | 甲苯 | 91 | 1.23 | 4.92 | 0.004 | 0.016 |
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10 | 環(huán)戊酮 | 55 | 1.18 | 4.70 | 0.004 | 0.016 |
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11 | 乳酸乙酯 | 45 | 2.19 | 8.77 | 0.007 | 0.028 |
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12 | 乙酸丁酯 | 43 | 1.39 | 5.55 | 0.005 | 0.020 |
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13 | 丙二醇單甲醚乙酸酯 | 43 | 1.53 | 6.12 | 0.005 | 0.020 |
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14 | 乙苯 | 91 | 1.91 | 7.66 | 0.006 | 0.024 |
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15、16 | 對/間二甲苯 | 91 | 2.81 | 11.2 | 0.009 | 0.036 |
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17 | 2-庚酮 | 43 | 0.35 | 1.40 | 0.001 | 0.004 |
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18 | 苯乙烯 | 104 | 1.20 | 4.80 | 0.004 | 0.016 |
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19 | 鄰二甲苯 | 91 | 1.18 | 4.72 | 0.004 | 0.016 |
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20 | 苯甲醚 | 108 | 1.01 | 4.04 | 0.003 | 0.012 |
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21 | 苯甲醛 | 106 | 2.10 | 7.51 | 0.007 | 0.028 |
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22 | 1-癸烯 | 41 | 0.96 | 8.38 | 0.003 | 0.012 |
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23 | 2-壬酮 | 58 | 0.86 | 3.43 | 0.003 | 0.012 |
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24 | 1-十二烯 | 69 | 2.41 | 9.64 | 0.008 | 0.032 |
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附 錄 B
附表 B.1 中給出了方法的重復(fù)性、再現(xiàn)性和加標(biāo)回收率等精密度和準(zhǔn)確度指標(biāo)。
附表 B.1 精密度和準(zhǔn)確度
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| 空白加標(biāo)量 | 總均值 | 實驗室內(nèi)相對標(biāo)準(zhǔn)偏差(%) |
| 重復(fù)性限 r | 再現(xiàn)性限 R |
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| 實驗室間相對 |
| P ±2SP |
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序號 | 目標(biāo)物 |
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ng | ng | *小 |
| 標(biāo)準(zhǔn)偏差(%) | ng | ng | (%) |
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| |||||||
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| |||
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| 5.0 | 8.38 | 5.1% | 23.3% | 16.2% | 4.30 | 5.46 |
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| ||
1 | 丙酮 | 50.0 | 58.7 | 2.5% | 14.7% | 10.2% | 5.38 | 17.5 | 111%±5% |
| ||
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| ||
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| 100 | 93.8 | 2.3% | 11.5% | 13.0% | 18.8 | 38.1 | 98%±20% |
| ||
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| 5.0 | 5.65 | 2.1% | 17.7% | 6.2% | 0.77 | 1.20 |
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2 | 異丙醇 | 50.0 | 53.2 | 3.1% | 11.7% | 3.4% | 5.60 | 7.24 | 108%±7% |
| ||
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| ||
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| 100 | 96.6 | 1.9% | 11.1% | 10.1% | 9.27 | 28.7 | 102%±7% |
| ||
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| 5.0 | 6.32 | 1.7% | 12.8% | 12.9% | 0.37 | 2.22 |
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3 | 正己烷 | 50.0 | 50.4 | 0.7% | 7.5% | 7.5% | 6.76 | 12.3 | 103%±13% |
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| 100 | 100 | 2.0% | 5.1% | 7.7% | 9.18 | 23.1 | 100%±5% |
| ||
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|
|
| 5.0 | 5.62 | 1.1% | 7.7% | 7.8% | 0.73 | 1.40 |
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| ||
4 | 乙酸乙酯 | 50.0 | 55.3 | 2.0% | 4.1% | 3.2% | 5.07 | 6.83 | 111%±6% |
| ||
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| ||
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| 100 | 101 | 1.8% | 3.7% | 6.5% | 7.17 | 19.6 | 103%±12% |
| ||
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| 5.0 | 5.89 | 2.3% | 28.7% | 15.6% | 0.90 | 2.70 |
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|
|
|
|
5 | 苯 | 50.0 | 53.0 | 2.0% | 5.7% | 7.4% | 6.58 | 12.6 | 108%±7% |
|
|
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|
|
|
|
|
|
|
|
| 100 | 101 | 1.7% | 6.8% | 9.5% | 10.5 | 28.5 | 100%±17% |
|
|
|
|
|
|
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|
| 5.0 | 5.27 | 1.2% | 12.9% | 6.7% | 0.20 | 1.01 |
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|
6 | 六甲基二硅氧烷 | 50.0 | 50.7 | 2.4% | 8.6% | 5.5% | 8.44 | 11.0 | 102%±9% |
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| 100 | 101 | 2.3% | 10.7% | 11.6% | 9.39 | 34.0 | 96%±5% |
|
|
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| 5.0 | 7.22 | 0.7% | 30.1% | 4.4% | 0.27 | 0.93 |
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|
|
7 | 3-戊酮 | 50.0 | 53.7 | 1.9% | 10.7% | 6.8% | 5.90 | 11.6 | 106%±13% |
|
|
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|
|
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|
|
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|
|
| 100 | 102 | 1.4% | 4.5% | 9.5% | 9.14 | 28.5 | 99%±3% |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| 5.0 | 5.73 | 1.5% | 26.9% | 5.0% | 0.34 | 0.86 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
8 | 正庚烷 | 50.0 | 52.5 | 1.4% | 4.7% | 8.8% | 5.43 | 13.9 | 108%±15% |
|
|
|
|
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|
|
|
|
|
| 100 | 98.5 | 1.5% | 2.8% | 10.7% | 6.21 | 30.0 | 100%±19% |
|
|
|
|
|
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|
| 5.0 | 6.25 | 0.7% | 7.1% | 36.1% | 0.65 | 6.35 |
|
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|
|
9 | 甲苯 | 50.0 | 53.2 | 1.6% | 4.5% | 6.2% | 4.83 | 10.3 | 109%±12% |
|
|
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|
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|
|
|
| 100 | 103 | 1.1% | 2.4% | 4.0% | 5.48 | 12.5 | 101%±5% |
|
|
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|
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|
|
| 5.0 | 5.89 | 1.5% | 17.2% | 3.0% | 0.46 | 0.64 |
|
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|
|
10 | 環(huán)戊酮 | 50.0 | 53.7 | 1.7% | 11.1% | 8.8% | 11.0 | 16.6 | 107%±17% |
|
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|
|
| 100 | 102 | 1.6% | 20.8% | 3.2% | 16.3 | 17.6 | 101%±4% |
|
|
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|
| 5.0 | 4.59 | 8.0% | 19.1% | 18.7% | 1.86 | 2.94 |
|
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|
|
11 | 乳酸乙酯 | 50.0 | 53.1 | 1.9% | 8.8% | 10.8% | 4.44 | 16.6 | 113%±18% |
|
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|
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|
|
| 100 | 101 | 2.1% | 2.9% | 4.0% | 6.77 | 13.0 | 106%±7% |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
12 | 乙酸丁酯 | 5.0 | 5.52 | 1.4% | 6.7% | 7.7% | 0.68 | 1.34 |
|
|
|
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|
|
|
|
| 50.0 | 53.1 | 1.8% | 6.9% | 8.8% | 6.77 | 14.5 | 112%±15% |
|
|
|
|
|
|
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|
|
|
| 100 | 106 | 1.7% | 5.7% | 0.8% | 8.43 | 8.43 | 103%±6% |
|
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|
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|
| 5.0 | 5.59 | 0.4% | 9.4% | 8.4% | 0.16 | 1.32 |
|
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|
13 | 丙二醇單甲醚乙酸酯 | 50.0 | 55.0 | 1.9% | 14.8% | 7.9% | 4.83 | 12.9 | 113%±19% |
|
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|
| 100 | 101 | 1.4% | 5.9% | 7.4% | 10.3 | 23.0 | 104%±9% |
|
|
|
|
|
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|
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|
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|
|
| 5.0 | 5.85 | 1.3% | 9.6% | 8.3% | 0.42 | 1.42 |
|
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|
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|
|
|
|
|
14 | 乙苯 | 50.0 | 55.7 | 1.5% | 17.4% | 4.8% | 4.08 | 8.40 | 112%±17% |
|
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|
|
|
|
|
|
| 100 | 104 | 1.2% | 6.3% | 5.9% | 5.99 | 18.1 | 103%±10% |
|
|
|
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|
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|
|
| 10.0 | 11.5 | 1.1% | 6.8% | 11.3% | 1.23 | 3.80 |
|
|
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|
|
15、16 | 對/間二甲苯 | 100 | 111 | 1.7% | 9.1% | 8.0% | 8.50 | 26.0 | 113%±22% |
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|
| 200 | 203 | 0.9% | 3.9% | 4.3% | 15.1 | 28.0 | 103%±9% |
|
|
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|
| 5.0 | 5.92 | 1.5% | 11.5% | 2.6% | 0.51 | 0.64 |
|
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|
|
17 | 2-庚酮 | 50.0 | 54.5 | 2.1% | 10.8% | 8.4% | 9.22 | 15.3 | 112%±12% |
|
|
|
|
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|
|
|
|
|
| 100 | 102 | 1.4% | 4.7% | 3.7% | 8.35 | 13.0 | 102%±7% |
|
|
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|
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|
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|
|
|
|
| 5.0 | 5.55 | 0.6% | 8.8% | 4.1% | 0.28 | 0.69 |
|
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|
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|
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|
|
|
18 | 苯乙烯 | 50.0 | 53.8 | 2.4% | 8.0% | 9.3% | 7.18 | 15.5 | 112%±13% |
|
|
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|
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|
|
|
|
|
|
| 100 | 102 | 1.3% | 2.2% | 5.6% | 4.96 | 16.6 | 101%±11% |
|
|
|
|
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|
|
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|
|
| 5.0 | 5.84 | 1.1% | 7.0% | 6.9% | 0.32 | 1.16 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
19 | 鄰二甲苯 | 50.0 | 53.4 | 1.7% | 6.9% | 7.7% | 5.51 | 12.6 | 111%±15% |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| 100 | 102 | 1.1% | 4.0% | 5.3% | 4.43 | 21.3 | 100%±11% |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
20 | 苯甲醚 | 5.0 | 5.69 | 0.4% | 7.8% | 8.3% | 0.20 | 1.33 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| ||
50.0 | 53.6 | 1.8% | 6.5% | 7.1% | 5.64 | 11.9 | 111%±10% |
| ||
|
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| ||||||||
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|
|
|
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|
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|
|
| 100 | 102 | 1.1% | 6.8% | 6.0% | 4.85 | 17.6 | 101%±10% |
|
|
|
|
|
|
|
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|
|
|
| 5.0 | 6.38 | 5.2% | 24.6% | 11.4% | 1.49 | 2.58 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
21 | 苯甲醛 | 50.0 | 55.9 | 2.1% | 20.0% | 2.3% | 8.19 | 8.32 | 111%±4% |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| 100 | 101 | 2.9% | 13.1% | 1.3% | 12.1 | 12.1 | 102%±6% |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| 5.0 | 5.76 | 1.1% | 13.9% | 4.1% | 0.39 | 0.75 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
22 | 1-癸烯 | 50.0 | 57.5 | 2.1% | 11.4% | 5.6% | 5.36 | 10.3 | 117%±14% |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| 100 | 105 | 1.6% | 3.3% | 3.2% | 6.61 | 11.1 | 103%±7% |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| 5.0 | 5.8 | 0.0% | 26.6% | 4.7% | 0.31 | 0.81 |
|
|
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|
|
|
|
|
|
|
23 | 2-壬酮 | 50.0 | 55.2 | 1.9% | 12.6% | 11.9% | 9.87 | 20.4 | 116%±8% |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| 100 | 101 | 1.4% | 6.5% | 9.1% | 9.54 | 27.2 | 108%±4% |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| 5.0 | 5.28 | 0.6% | 9.9% | 30.7% | 0.56 | 4.56 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
24 | 1-十二烯 | 50.0 | 58.7 | 2.7% | 10.5% | 9.8% | 5.55 | 16.8 | 122%±22% |
|
|
|
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|
|
|
|
|
|
|
| 100 | 100 | 1.4% | 13.0% | 7.1% | 4.85 | 20.5 | 108%±19% |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
附 錄 C
(資料性附錄)
吸附管的使用與選擇
C.1 吸附采樣管一般要求
可購買商品化的吸附采樣管或者自行填裝。吸附采樣管應(yīng)標(biāo)記編號和氣流方向。裝填的固相吸附劑端面距離采樣管入口至少 15 mm,吸附床應(yīng)完全在熱脫附區(qū)域內(nèi)?梢愿鶕(jù)需要選用一種吸附劑,也可以選用兩種或三種吸附劑,選擇兩種以上吸附劑時各吸附劑之間要用未硅烷化的玻璃棉隔開,選用三種吸附劑應(yīng)按吸附劑吸附強度順序填裝。通常弱吸附劑比表面積小于 50 m2/g,中等強度的吸附劑比表面積在 100~500 m2/g 的范圍內(nèi),強吸附劑比表面積在 1000 m2/g 左右。常用的吸附劑的粒徑一般為 60~80 目,填裝量為 200mg。對于多層吸附劑(總填裝量一般為 450mg 左右)。
C.2 常用吸附劑組合及其適用范圍
C.2.1 組合 1 吸附采樣管
適用于 C6~C20 范圍內(nèi)的化合物,在環(huán)境溫度的任何濕度下采樣體積可達(dá) 2 L,對于C7 以上的化合物采樣體積可擴大到 5 L。老化溫度 330℃,老化流量 100 ml/min。具相同功能國產(chǎn)組合吸附采樣管:內(nèi)裝 GDX502 和 GDX101 或 GDX201,填充長度分別為 30 mm和 20 mm,熱解吸溫度 220℃,老化溫度 240℃,自行填裝時可選用。
C.2.2 組合 2 吸附采樣管
適用于 C3~C12 范圍內(nèi)的化合物。在濕度低于 65%、溫度低于 30℃時(含濕量<1.8%),可采集氣體樣品 2 L;在濕度高于 65%、溫度高于 30℃時(含濕量>1.8%),采樣體積要降到 0.5 L;對于 C4 以上的化合物,采樣體積可增加到 5 L。老化溫度 350 ℃,老化流量 100 ml/min。
C.2.3 組合 3 吸附采樣管
適用于 C3~C16 范圍內(nèi)的化合物。在濕度低于 65%、溫度低于 30℃時(含濕量<1.8%),可采集氣體樣品 2L;在濕度高于 65%、溫度高于 30℃時(含濕量>1.8%),采樣體積要降到 0.5L;對于 C4 以上的化合物,采樣體積可增加到 5L。老化溫度 350℃,老化流量 100ml/min。
C.3 組合 1 吸附采樣管對部分低沸點揮發(fā)性有機物的安全采樣體積
表 C.1 | 組合 1 吸附采樣管對部分低沸點揮發(fā)性有機物的安全采樣體積(ml) |
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化合物名稱 |
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| 廢氣溫度(℃) |
|
| 化合物沸點(℃) |
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| ||
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| 0 | 20 |
| 40 | 60 | 80 |
|
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|
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|
乙酸甲酯 |
| 6502 | 1210 |
| 242 | 67 | 23 | 57.8 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
乙酸乙酯 |
| 34776 | 5141 |
| 953 | 227 | 68 | 77.0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
戊烷 |
| 2614 | 1062 |
| 414 | 185 | 74 | 36.0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
正己烷 |
| 27920 | 10832 |
| 4015 | 1567 | 644 | 69.0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
丙醇 |
| 2672 | 1026 |
| 403 | 157 | 62 | 97.1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
異丙醇 |
| 1808 | 723 |
| 284 | 114 | 47 | 82.5 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
丙酮 |
| 2592 | 756 |
| 216 | 65 | 21 | 56.5 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
甲醇 |
| 179 | 75 |
| 31 | 13 | 6 | 64.5 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
乙醇 |
| 574 | 238 |
| 94 | 38 | 16 | 78.3 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1,2-二氯乙烷 |
| 8370 | 2769 |
| 903 | 320 | 116 | 83.5 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1,2-二氯乙烯 |
| 2204 | 760 |
| 291 | 111 | 45 | 60.2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
二氯甲烷 |
| 1565 | 522 |
| 185 | 68 | 26 | 39.8 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
C.4 吸附采樣管的選擇
固定源排氣中揮發(fā)性有機物 ( VOCs)的采樣應(yīng)選用方法推薦的三種組合吸附采樣管。
組合 1 吸附采樣管 40℃時不適用于丁烷、戊烷、二氯甲烷、甲醇、乙醇、丙酮、乙腈的采樣;組合 2 吸附采樣管不適用于十二烷、硝基苯、苯酚的采樣;組合 3 吸附采樣管不適用于苯酚的采樣。對于已知成分的揮發(fā)性有機物也可選用其他的適合的吸附管采樣。預(yù)監(jiān)測時可選用組合 3 吸附采樣管采樣,用質(zhì)譜全掃描方式對化合物定性。正式監(jiān)測時采用組合
1 吸附采樣管采樣和定性定量,并確定低沸點有機物滿足*少 300 ml 采氣量的采樣條件。
附 錄 D
(資料性附錄)
標(biāo)準(zhǔn)總離子圖
固定污染源廢氣實際樣品取自電子行業(yè)。在熱脫附、氣相色譜、質(zhì)譜參考條件(8.1)
下使用 100%甲基聚硅氧烷毛細(xì)管柱分離 24 種揮發(fā)性有機化合物的參考標(biāo)準(zhǔn)總離子圖如下圖。
出峰順序:1. 丙酮 acetone;2. 異丙醇 isopropanol;3. 正己烷 hexane;4. 乙酸乙酯 ethyl acetate;5. 內(nèi)標(biāo)物 1,2-二氯乙烷-d4;6. 苯 benzene;7. 六甲基二硅氧烷 hexamethyldisiloxane;8. 3-戊酮 3-pentanone;
9. 正庚烷 heptane;10. 內(nèi)標(biāo)物甲苯-d8;11. 甲苯 toluene;12. 環(huán)戊酮 cyclopentanone;13. 乳酸乙酯 ethyl
lactate;14. 乙酸丁酯 butyl acetate;15. 丙二醇單甲醚乙酸酯 PGEA;16. 乙苯 ethyl benzene;17.18. 對二甲苯 p-xylene 和間二甲苯 m-xylene;19. 2-庚酮 2-heptanone;20. 苯乙烯 styrene;21. 鄰二甲苯 o-xylene;
22. 苯甲醚 anisole;23. 4-溴氟苯BFB;24. 苯甲醛 benzaldehyde;25. 1-癸烯1-decene;26. 2-壬酮2-nonanone;
27. 十二烯 1-dodecene。
圖 D.1 24 種揮發(fā)性有機物的參考標(biāo)準(zhǔn)總離子圖
附 錄 E
(資料性附錄)其他目標(biāo)揮發(fā)性有機物
E.1 TO-15 標(biāo)準(zhǔn)混合氣體 25 種組份組合 1 吸附采樣管試驗
1µmol/mol 的 TO-15 標(biāo)準(zhǔn)混合氣體 25 種組份充入 3 升 Tedlar 氣袋約 2 升。氣袋連接
組合 1 吸附管,組合 1 吸附管連接采樣裝置。為保護(hù)采樣裝置,組合 1 吸附管采樣時后接
一根防穿透的組合 3 吸附管。組合 1 吸附管標(biāo)準(zhǔn)曲線分別采氣 60 ml、100 ml、150 ml 和
200 ml。25 個目標(biāo)物有 24 個出峰,其中丙烯沒有出峰。溴乙烯標(biāo)準(zhǔn)曲線相關(guān)系數(shù)僅 0.414,小于臨界值 0.94。適合組合 1 吸附管采樣的目標(biāo)化合物詳見附表 E.1。
附表 E.1 | 組合 1 吸附管目標(biāo)化合物精密度和準(zhǔn)確度數(shù)據(jù) | 濃度單位:µmol/mol | |||||
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|
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| |
序號 |
| 目標(biāo)化合物 | 6 次平均值 | 標(biāo)準(zhǔn)偏差 | 相對標(biāo)準(zhǔn)偏差(%) | 回收率 | |
|
|
|
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|
|
1 |
| 1,3-丁二烯 | 1.17 | 0.04 |
| 3% | 117% |
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|
|
2 |
| 溴乙烯 | 0.31 | 0.12 |
| 38% | 31% |
|
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|
|
|
|
3 |
| 丙酮 | 1.02 | 0.13 |
| 13% | 102% |
|
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|
|
|
|
|
4 |
| 異丙醇 | 1.12 | 0.03 |
| 3% | 112% |
|
|
|
|
|
|
|
|
5 |
| 烯丙基氯 | 1.13 | 0.09 |
| 8% | 113% |
|
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|
|
|
|
|
|
6 |
| 二硫化碳 | 0.96 | 0.17 |
| 17% | 96% |
|
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|
|
|
| |
7 | 反式-1,2-二氯乙烯 | 1.26 | 0.02 |
| 2% | 126% | |
|
|
|
|
|
|
|
|
8 |
| 甲基叔丁基醚 | 1.23 | 0.03 |
| 2% | 123% |
|
|
|
|
|
|
|
|
9 |
| 醋酸乙烯酯 | 1.19 | 0.07 |
| 6% | 119% |
|
|
|
|
|
|
|
|
10 |
| 甲乙酮 | 1.47 | 0.06 |
| 4% | 147% |
|
|
|
|
|
|
|
|
11 |
| 正己烷 | 1.29 | 0.03 |
| 2% | 129% |
|
|
|
|
|
|
|
|
12 |
| 乙酸乙酯 | 1.24 | 0.06 |
| 5% | 124% |
|
|
|
|
|
|
|
|
13 |
| 四氫呋喃 | 1.31 | 0.11 |
| 8% | 131% |
|
|
|
|
|
|
|
|
14 |
| 環(huán)己烷 | 1.35 | 0.05 |
| 3% | 135% |
|
|
|
|
|
|
| |
15 | 2,2,4 -三甲基戊烷 | 1.13 | 0.21 |
| 18% | 113% | |
|
|
|
|
|
|
|
|
16 |
| 1,4-二氧六環(huán) | 1.42 | 0.22 |
| 16% | 142% |
|
|
|
|
|
|
|
|
17 |
| 正庚烷 | 附錄 1.27 | 0.07 |
| 5% | 127% |
|
|
|
|
|
|
|
|
18 |
| 一溴二氯甲烷 | 1.24 | 0.07 |
| 6% | 124% |
|
|
|
|
|
|
| |
19 | 甲基異丁基甲酮 | 1.19 | 0.12 |
| 10% | 119% | |
|
|
|
|
|
|
|
|
20 |
| 2-己酮 | 1.07 | 0.16 |
| 15% | 107% |
|
|
|
|
|
|
|
|
21 |
| 二溴一氯甲烷 | 1.21 | 0.14 |
| 12% | 121% |
|
|
|
|
|
|
|
|
22 |
| 三溴甲烷 | 1.16 | 0.25 |
| 21% | 116% |
|
|
|
|
|
|
|
|
23 |
| 4-乙基甲苯 | 0.92 | 0.21 |
| 22% | 92% |
|
|
|
|
|
|
|
|
24 |
| 氯化芐 | 0.77 | 0.23 |
| 29% | 77% |
|
|
|
|
|
|
|
|
E.2 TO-15 標(biāo)準(zhǔn)混合氣體 65 種組份組合 3 吸附采樣管試驗
1µmol/mol 的 TO-15 標(biāo)準(zhǔn)混合氣體 65 種組份充入 3 升 Tedlar 氣袋約 2 升。氣袋連接組合 3 吸附管,組合 3 吸附管連接采樣裝置分別采氣 60 ml、100 ml、150 ml 和 200 ml。組合 3 吸附管 270℃解吸 65 個目標(biāo)物中有 8 個未出峰:丙烯,二氯二氟甲烷,氯甲烷,氯乙烯,溴甲烷,氯乙烷,乙醇,1,2,4-三氯苯。出峰的 57 個目標(biāo)物中有 8 個響應(yīng)極低:二氯甲烷,1,4-二氧雜環(huán),1,3-二氯苯,芐基氯,1,4-二氯苯,1,2-二氯苯,萘,六氯-1,3-丁二烯。出峰的 57 個目標(biāo)物中 48 個標(biāo)準(zhǔn)曲線相關(guān)系數(shù)大于 0.94,線性顯著。適合組合
3 吸附管采樣的目標(biāo)化合物詳見附表 E.2。
附表 E.2 | 組合 3 吸附管目標(biāo)化合物精密度和準(zhǔn)確度數(shù)據(jù) | 濃度單位:µmol/mol | ||||
|
|
|
|
|
|
|
序號 |
| 目標(biāo)化合物 | 5 次平均值 | 標(biāo)準(zhǔn)偏差 | 相對標(biāo)準(zhǔn)偏差(%) | 回收率(%) |
|
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1 |
| 1,2 - 二氯四氟乙烷 |
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|
|
2 |
| 1,3-丁二烯 | 2.21 | 0.07 | 3% | 221% |
|
|
|
|
|
|
|
3 |
| 三氯氟甲烷 | 1.63 | 0.11 | 7% | 163% |
|
|
|
|
|
|
|
4 |
| C3H4O |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
5 |
| 丙酮 | 0.75 | 0.03 | 4% | 75% |
|
|
|
|
|
|
|
6 |
| 異丙醇 | 1.53 | 0.03 | 2% | 153% |
|
|
|
|
|
|
|
7 |
| 1,1 - 二氯乙烯 | 1.08 | 0.02 | 2% | 108% |
|
|
|
|
|
| |
8 | 1,1,2 - 三氯-1,2,2 - 三氟乙烷 | 1.31 | 0.01 | 1% | 131% | |
|
|
|
|
|
|
|
9 |
| 二氯甲烷 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
10 |
| 二硫化碳 | 0.90 | 0.07 | 7% | 90% |
|
|
|
|
|
|
|
11 |
| 順式-1,2 - 二氯乙烯 | 1.13 | 0.04 | 4% | 113% |
|
|
|
|
|
|
|
12 |
| 氯丙烯 | 1.11 | 0.04 | 4% | 111% |
|
|
|
|
|
|
|
13 |
| 甲基叔丁基醚 | 1.23 | 0.04 | 3% | 123% |
|
|
|
|
|
|
|
14 |
| 乙酸乙烯酯 | 1.20 | 0.06 | 5% | 120% |
|
|
|
|
|
|
|
15 |
| 2 - 丁酮 | 1.74 | 0.11 | 6% | 174% |
|
|
|
|
|
|
|
16 |
| 正己烷 | 1.12 | 0.06 | 5% | 112% |
|
|
|
|
|
|
|
17 |
| 反式-1,2 - 二氯乙烯 | 1.08 | 0.04 | 4% | 108% |
|
|
|
|
|
|
|
18 |
| 乙酸乙酯 | 1.34 | 0.10 | 8% | 134% |
|
|
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|
19 |
| CHCl3 | 1.50 | 0.05 | 3% | 150% |
|
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|
|
|
|
20 |
| 四氫呋喃 | 1.28 | 0.13 | 10% | 128% |
|
|
|
|
|
|
|
21 |
| 1,1,1 - 三氯乙烷 | 1.08 | 0.06 | 5% | 108% |
|
|
|
|
|
|
|
22 |
| 1,2-二氯乙烷 | 1.06 | 0.06 | 6% | 106% |
|
|
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|
|
|
|
23 |
| 苯 | 1.48 | 0.12 | 8% | 148% |
|
|
|
|
|
|
|
24 |
| 四氯化碳 | 1.07 | 0.07 | 7% | 107% |
|
|
|
|
|
|
|
25 | 環(huán)己烷 | 1.57 | 0.10 | 7% | 157% |
|
|
|
|
|
|
26 | 正庚烷 | 1.06 | 0.12 | 11% | 106% |
|
|
|
|
|
|
27 | 三氯乙烯 | 1.43 | 0.17 | 12% | 143% |
|
|
|
|
|
|
28 | 1,2 - 二氯丙烷 | 1.53 | 0.15 | 10% | 153% |
|
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|
|
|
29 | 1,4-二氧六環(huán) | 2.74 | 0.88 | 32% | 274% |
|
|
|
|
|
|
30 | 甲基丙烯酸甲酯 | 1.05 | 0.16 | 15% | 105% |
|
|
|
|
|
|
31 | 一溴二氯甲烷 | 1.73 | 0.23 | 13% | 173% |
|
|
|
|
|
|
32 | 甲基異丁基甲酮 | 1.00 | 0.16 | 16% | 100% |
|
|
|
|
|
|
33 | 順式-1,3 - 二氯丙烯 | 1.24 | 0.20 | 16% | 124% |
|
|
|
|
|
|
34 | 反式-1,3 - 二氯丙烯 | 1.10 | 0.21 | 19% | 110% |
|
|
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|
35 | 甲苯 | 1.03 | 0.17 | 16% | 103% |
|
|
|
|
|
|
36 | 1,1,2 - 三氯乙烷 | 1.21 | 0.21 | 17% | 121% |
|
|
|
|
|
|
37 | 2-己酮 | 0.94 | 0.17 | 19% | 94% |
|
|
|
|
|
|
38 | 二溴一氯甲烷 | 1.17 | 0.22 | 19% | 117% |
|
|
|
|
|
|
39 | 四氯乙烯 | 1.05 | 0.20 | 19% | 105% |
|
|
|
|
|
|
40 | 1,2-二溴乙烷 | 1.09 | 0.22 | 20% | 109% |
|
|
|
|
|
|
41 | 氯苯 | 0.97 | 0.20 | 20% | 97% |
|
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|
42 | 乙苯 | 0.93 | 0.17 | 19% | 93% |
|
|
|
|
|
|
43 | 間對-二甲苯 | 0.87 | 0.16 | 19% | 87% |
|
|
|
|
|
|
44 | 苯乙烯 | 0.90 | 0.17 | 19% | 90% |
|
|
|
|
|
|
45 | 鄰-二甲苯 | 0.87 | 0.17 | 19% | 87% |
|
|
|
|
|
|
46 | 三溴甲烷 | 0.97 | 0.19 | 20% | 97% |
|
|
|
|
|
|
47 | 1,1,2,2 - 四氯乙烷 | 0.92 | 0.18 | 19% | 92% |
|
|
|
|
|
|
48 | 4-乙基甲苯 | 0.82 | 0.22 | 27% | 82% |
|
|
|
|
|
|
49 | 1,3,5 - 三甲基苯 | 0.92 | 0.15 | 16% | 92% |
|
|
|
|
|
|
50 | 1,2,4 - 三甲基苯 | 0.86 | 0.19 | 22% | 86% |
|
|
|
|
|
|
51 | 1,3 - 二氯苯 | 0.86 | 0.13 | 16% | 86% |
|
|
|
|
|
|
52 | 氯化芐 |
|
|
|
|
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|
|
|
|
53 | 1,4 - 二氯苯 |
|
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|
|
|
|
|
|
|
54 | 1,2 - 二氯苯 |
|
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|
|
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|
55 | 萘 |
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|
56 | 六氯-1,3 - 丁二烯 |
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|
E.3 氣袋-吸附管采樣實際樣品加標(biāo)回收試驗用氣袋分別采取兩個芯片制造廠共 4 個有機廢氣排氣筒廢氣樣品,從各氣袋內(nèi)分別采集樣品到 4 根組合 3 吸附采樣管中,其中 2 根加標(biāo)氣,2 根直接測定,采集實際樣品和標(biāo)氣體積均為 150 ml,TO-15 標(biāo)氣濃度 1 µmol/mol。
|
| 附表 E.3 氣袋-吸附管采樣實際樣品加標(biāo)回收試驗數(shù)據(jù) |
| 濃度單位:µmol/mol |
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| ||||||||
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| |
序 |
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| 芯片制造 A 廠排氣 | 芯片制造 B 廠 7#排氣 | 芯片制造 B 廠 8#排氣 | 芯片制造 B 廠 9#排氣 |
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化合物名稱 |
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| |
廢氣 |
| 加標(biāo)回收 | 加標(biāo)回 | 廢氣 | 加標(biāo)回 | 加標(biāo)回收 | 廢氣 |
| 加標(biāo)回 | 加標(biāo)回收 | 廢氣濃 | 加標(biāo)回 | 加標(biāo)回收 |
| ||
號 |
|
|
| |||||||||||||
|
|
| 率 1 | 收率 2 |
| 收率 1 | 率 2 |
|
| 收率 1 | 率 2 |
| 收率 1 | 率 2 |
| |
|
| 濃度 |
| 濃度 | 濃度 |
| 度 |
| ||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
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|
|
|
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|
1 | 1,2 - 二氯四氟乙烷 |
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|
|
2 | 1,3-丁二烯 | 0.04 |
| 117% | 104% | 0.01 | 52% | 54% | 0.00 |
| 120% | 93% | 0.01 | 94% | 99% |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
3 | 三氯氟甲烷 | 0.04 |
| 75% | 77% | 0.09 | 175% | 191% | 0.10 |
| 54% | 75% | 0.08 | 81% | 52% |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
4 | C3H4O |
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|
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|
|
|
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|
|
|
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|
|
5 | 丙酮 | 0.00 |
| 77% | 86% | 1.67 | -68% | -103% | 0.36 |
| 97% | 75% | 0.53 | 72% | 86% |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
6 | 異丙醇 | 0.00 |
| 280% | 412% | 1.70 | 208% | 179% | 1.54 |
| 78% | 72% | 1.39 | 75% | 78% |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
7 | 1,1 - 二氯乙烯 | 0.08 |
| 82% | 70% | 0.07 | 73% | 87% | 0.05 |
| 80% | 80% | 0.06 | 73% | 80% |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| 1,1,2 - 三氯-1,2,2 - 三氟 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
8 | 乙烷 | 0.07 |
| 81% | 67% | 0.05 | 72% | 81% | 0.06 |
| 75% | 78% | 0.05 | 65% | 78% |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
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|
|
9 | 二氯甲烷 |
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|
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|
|
|
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|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
10 | 二硫化碳 | 0.13 |
| 56% | 49% | 0.04 | 20% | 18% | 0.06 |
| 48% | 58% | 0.05 | 46% | 43% |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
11 | 順式-1,2 - 二氯乙烯 | 0.14 |
| 80% | 53% | 0.09 | 58% | 73% | 0.10 |
| 71% | 69% | 0.04 | 65% | 82% |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
12 | 氯丙烯 | 0.09 |
| 88% | 54% | 0.08 | 68% | 77% | 0.08 |
| 76% | 79% | 0.05 | 63% | 92% |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
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13 | 甲基叔丁基醚 | 0.12 |
| 84% | 54% | 0.09 | 62% | 73% | 0.09 |
| 74% | 72% | 0.08 | 61% | 81% |
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14 | 乙酸乙烯酯 | 0.10 |
| 84% | 55% | 0.16 | 88% | 102% | 0.14 |
| 66% | 64% | 0.12 | 59% | 71% |
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15 | 2 - 丁酮 | 0.00 |
| 86% | 42% | 0.21 | 110% | 118% | 0.01 |
| 86% | 42% | 0.00 | 42% | 90% |
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16 | 正己烷 | 0.14 |
| 83% | 57% | 0.12 | 64% | 79% | 0.12 |
| 73% | 73% | 0.11 | 62% | 78% |
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17 | 反式-1,2 - 二氯乙烯 | 0.16 |
| 78% | 49% | 0.13 | 58% | 73% | 0.13 |
| 65% | 63% | 0.12 | 59% | 70% |
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18 | 乙酸乙酯 | 0.00 | 83% | 74% | 0.23 | 69% | 88% | 0.23 | 50% | 54% | 0.22 | 56% | 55% |
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19 | CHCl3 | 0.13 | 75% | 57% | 0.22 | 95% | 123% | 0.23 | 44% | 55% | 0.21 | 56% | 50% |
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20 | 四氫呋喃 | 0.00 | 50% | 68% | 0.31 | 117% | 98% | 0.36 | 21% | 22% | 0.26 | 59% | 17% |
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21 | 1,1,1 - 三氯乙烷 | 0.15 | 73% | 46% | 0.11 | 55% | 67% | 0.12 | 64% | 62% | 0.11 | 55% | 68% |
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22 | 1,2-二氯乙烷 | 0.16 | 69% | 46% | 0.21 | 62% | 81% | 0.22 | 47% | 51% | 0.21 | 51% | 55% |
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23 | 苯 | 0.16 | 65% | 47% | 0.21 | 62% | 83% | 0.19 | 46% | 53% | 0.17 | 47% | 48% |
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24 | 四氯化碳 | 0.16 | 72% | 43% | 0.12 | 53% | 66% | 0.13 | 63% | 60% | 0.12 | 53% | 68% |
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25 | 環(huán)己烷 | 0.18 | 67% | 41% | 0.20 | 63% | 85% | 0.21 | 50% | 53% | 0.19 | 42% | 58% |
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26 | 正庚烷 | 0.25 | 83% | 39% | 0.21 | 53% | 69% | 0.21 | 66% | 58% | 0.20 | 54% | 69% |
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27 | 三氯乙烯 | 0.19 | 65% | 47% | 0.24 | 55% | 74% | 0.24 | 46% | 49% | 0.23 | 44% | 47% |
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28 | 1,2 - 二氯丙烷 | 0.20 | 65% | 41% | 0.27 | 60% | 83% | 0.27 | 44% | 51% | 0.26 | 40% | 42% |
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29 | 1,4-二氧六環(huán) | 0.02 | 59% | 47% | 0.61 | 139% | 161% | 0.52 | -4% | 22% | 0.57 | 29% | -11% |
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30 | 甲基丙烯酸甲酯 | 0.23 | 75% | 45% | 0.50 | 103% | 113% | 0.38 | 65% | 63% | 0.29 | 56% | 67% |
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31 | 一溴二氯甲烷 | 0.17 | 60% | 45% | 0.39 | 68% | 97% | 0.40 | 24% | 36% | 0.40 | 29% | 21% |
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32 | 甲基異丁基甲酮 | 0.23 | 76% | 45% | 0.25 | 54% | 66% | 0.23 | 68% | 62% | 0.25 | 59% | 71% |
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33 | 順式-1,3 - 二氯丙烯 | 0.16 | 62% | 53% | 0.27 | 53% | 71% | 0.27 | 46% | 48% | 0.27 | 42% | 45% |
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34 | 反式-1,3 - 二氯丙烯 | 0.17 | 64% | 56% | 0.27 | 55% | 68% | 0.26 | 53% | 54% | 0.27 | 46% | 52% |
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35 | 甲苯 | 0.25 | 72% | 40% | 0.22 | 50% | 63% | 0.21 | 63% | 57% | 0.21 | 53% | 65% |
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36 | 1,1,2 - 三氯乙烷 | 0.22 | 64% | 45% | 0.28 | 53% | 69% | 0.26 | 54% | 54% | 0.27 | 46% | 53% |
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37 | 2-己酮 | 0.17 | 79% | 60% | 0.27 | 68% | 82% | 0.25 | 80% | 79% | 0.29 | 75% | 85% |
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38 | 二溴一氯甲烷 | 0.21 | 63% | 50% | 0.30 | 56% | 72% | 0.29 | 55% | 55% | 0.30 | 45% | 52% |
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39 | 四氯乙烯 | 0.24 | 74% | 50% | 0.25 | 56% | 68% | 0.24 | 69% | 63% | 0.25 | 59% | 69% |
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40 | 1,2-二溴乙烷 | 0.19 | 65% | 57% | 0.30 | 59% | 73% | 0.27 | 59% | 60% | 0.29 | 51% | 57% |
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41 | 氯苯 | 0.22 | 78% | 61% | 0.28 | 65% | 76% | 0.27 | 78% | 75% | 0.29 | 71% | 79% |
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42 | 乙苯 | 0.20 | 78% | 62% | 0.24 | 64% | 73% | 0.25 | 78% | 77% | 0.27 | 74% | 82% |
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43 | 間對-二甲苯 | 0.18 | 77% | 60% | 0.23 | 68% | 75% | 0.22 | 79% | 80% | 0.26 | 76% | 54% |
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44 | 苯乙烯 | 0.14 | 89% | 65% | 0.21 | 77% | 88% | 0.30 | 83% | 84% | 0.34 | 78% | 90% |
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45 | 鄰-二甲苯 | 0.17 | 77% | 64% | 0.24 | 71% | 80% | 0.26 | 83% | 82% | 0.30 | 80% | 88% |
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46 | 三溴甲烷 | 0.18 | 76% | 66% | 0.27 | 71% | 82% | 0.28 | 81% | 83% | 0.30 | 75% | 85% |
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47 | 1,1,2,2 - 四氯乙烷 | 0.12 | 80% | 80% | 0.21 | 77% | 101% | 0.30 | 87% | 89% | 0.34 | 88% | 96% |
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48 | 4-乙基甲苯 | 0.18 | 81% | 64% | 0.25 | 76% | 94% | 0.33 | 85% | 88% | 0.38 | 15% | 100% |
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49 | 1,3,5 - 三甲基苯 | 0.16 | 79% | 70% | 0.27 | 103% | 73% | 0.29 | 91% | 92% | 0.35 | 88% | 97% |
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50 | 1,2,4 - 三甲基苯 | 0.10 | 75% | 75% | 0.18 | 89% | 86% | 0.28 | 84% | 84% | 0.23 | 106% | 91% |
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51 | 1,3 - 二氯苯 | 0.12 | 80% | 69% | 0.31 | 86% | 98% | 0.33 | 88% | 94% | 0.32 | 111% | 104% |
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52 | 氯化芐 |
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53 | 1,4 - 二氯苯 |
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54 | 1,2 - 二氯苯 |
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55 | 萘 |
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56 | 六氯-1,3 - 丁二烯 |
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原創(chuàng)作者:北京普瑞分析儀器有限公司